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自動白光幹涉儀SIS 2000
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·基本信息

品牌:

SNU

型號:

SIS 2000

操作方式:

自動

功能:

檢測、觀察、分析

精度 :

1nm

 

 

其它型號:

SIS 1200  

·產品介紹

    白光幹涉儀SIS係列采用增加相位掃描幹涉技術,是專為準確測量表麵輪廓、粗糙度、台階高度和其他表麵參數而設計的微納米測量係統,,為韓國SAMSUNG全球****指定供應商,LPL友好俱樂部成員,清華大學,台灣大學,首爾大學友好合作夥伴。

·產品特點

1、非接觸式測量:避免物件受損。
2
、三維表麵測量:表麵高度測量範圍為1nm-200μm
3
、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切換。
4
、納米級分辨率:垂直分辨率可以達到0.1nm
5
、高速數字信號處理器:實現測量僅需要幾秒鍾。
6
、掃描儀:采用閉環控製係統。
7
、工作台:氣動裝置、抗震、抗壓。
8
、測量軟件:基於windows 操作係統的用戶界麵,強大而快速的運算。

·技術參數

機型

SIS 2000

工作台

尺寸

350mm×350mm

傾斜度

±3 °

測量行程

X:200mm   Y:200mm

Z軸行程

100mm

運動方式

自動,馬達驅動

掃描速度

30μm/sec

垂直分辨率

0.1nm

CCD

黑白CCD 640×480 像素

物鏡安裝架

手動 5個位移的可定位夾具

鏡頭選配

鏡頭:5×、10×、20×、50×

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