·基本信息

品牌：	SNU	型號：	SIS 2000	操作方式：	自動
功能：	檢測、觀察、分析	精度 ：	1nm
其它型號：	SIS 1200

·產品介紹

    白光幹涉儀SIS係列采用增加相位掃描幹涉技術，是專為準確測量表麵輪廓、粗糙度、台階高度和其他表麵參數而設計的微納米測量係統,，為韓國SAMSUNG全球****指定供應商，LPL友好俱樂部成員，清華大學，台灣大學，首爾大學友好合作夥伴。

·產品特點

1、非接觸式測量：避免物件受損。
2、三維表麵測量：表麵高度測量範圍為1nm-200μm。
3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。
4、納米級分辨率：垂直分辨率可以達到0.1nm。
5、高速數字信號處理器：實現測量僅需要幾秒鍾。
6、掃描儀：采用閉環控製係統。
7、工作台：氣動裝置、抗震、抗壓。
8、測量軟件：基於windows 操作係統的用戶界麵，強大而快速的運算。

·技術參數

機型		SIS 2000
工作台	尺寸	350mm×350mm
	傾斜度	±3 °
測量行程		X:200mm   Y:200mm
Z軸行程		100mm
運動方式		自動，馬達驅動
掃描速度		30μm/sec
垂直分辨率		0.1nm
CCD		黑白CCD， 640×480 像素
物鏡安裝架		手動 5個位移的可定位夾具
鏡頭選配		鏡頭：5×、10×、20×、50×